事關國產光刻機,中企新消息傳來,ASML不想看到的情況出現了

 

在二十三年前,时任科技部长的徐冠华就一针见血地指出,中国信息产业“缺芯少魂”,如果不弥补这项短板、长期依赖进口,未来可能会被西方国家给卡脖子。没想到的是,如今竟一语成谶。

 

 

华为等高科技中企近几年的遭遇有目共睹,因为在5G通信等关键技术领域反超了美企,且不愿意按照老美的意愿成为一家“听话”的企业,于是便遭到了毫无底线的制裁,尤其是芯片禁令,导致华为华为一度比肩苹果的手机业务几乎腰斩。用任正非的话来说就是:老美不是想打疼华为,而是想把华为打死。

 

 

不过,芯片断供是把双刃剑,虽然华为等中企的业务受到了影响,但无法自由出货的美半导体市场出口也少了。更重要的是,经历了此次美芯带来的“卡脖子”之痛后,国内市场彻底摒弃了买办观念,决定自主造芯。

 

 

在我们实现高端芯片国产化替代的道路上,EUV光刻机无疑是最大的“藩篱。全球能生产该设备的只有荷兰巨头ASML,然而,由于其所使用有大量美国配件和技术,在老美的阻挠下,ASML始终无法将该价值1.2亿美元的尖端制造设备向大陆市场出口。

 

 

面对这样的情况,国内市场决定自研EUV,并派出了科研团队赴荷兰ASML总部“取经”,可没想到换来的却是冷嘲热讽,ASML的一位技术负责人表示“即便把图纸给中国,我们也造不出来”。

 

 

不可否认,集合了多国尖端技术、号称有多达10万颗精密零件的EUV设备的确极其复杂,但正如王传福所说:再尖端的设备也是人造的,而非神造的。本着不服输的精神,中科院成立了专项技术公关小组,将EUV列入了紧急任务科研清单,除此之外,上海微电子等国内光刻厂商也纷纷加快了自研脚步。

 

 

而就在近日,国内芯片厂商积塔半导体公布了设备采购的最终结果。数据显示,ASML拿到了其中三台全部的光刻机订单,分别是两台i-line光刻机与一台Krf光刻机。相比之下,国产光刻机却是颗粒无收。

 

 

从表面上看,ASML的计划似乎是奏效了:向国内市场降价倾销除EUV之外光刻机,以挤压国产光刻机的发展空间。可仔细看完积塔半导体的全部招标清单后就会发现,国产光刻机以及其他国产造芯设备,绝没有我们想象的那么不堪。

 

 

“一代芯片、一代设备”是半导体行业的共识,此次积塔半导体累计所采购的33台设备分别来自七个厂家,除了ASML之外,其余六家均是国产。例如中微半导体的刻蚀机、盛美的清洗抛光设备,华创的沉积设备等等,尤其是上海微电子中标的4台工艺检测设备,甚至让ASML方面有声音传出,表示中企已经开始说再见了。

 

 

要知道,工艺检测设备的主要用途是提升芯片制造的良率,与光刻机相辅相成、密不可分。ASML之所以能够在中高端光刻市场一家独大,不仅仅是因为它能生产DUV、EUV光刻机,更是因为它能够配套最尖端的工艺检测设备以保证较高的芯片良品率。

 

 

但从积塔的此次招标中却能明显看出,国产工艺检测设备技术已然达到了比肩甚至是超越ASML的水平。也就是说,国产光刻机的供应体系基本已经趋于完善,在其他辅助设备都能保持高精尖水平的情况下,距离国产光刻机的崛起还会远吗?

 

 

事实上,目睹中企在工艺检测设备技术方面的不断崛起,被触碰到敏感神经的ASML也并没有眼睁睁的保持沉默。

 

 

在前不久,ASML就曾公开表示,怀疑国产光刻厂商东方晶源微电子的12英寸电子束缺陷检测设备CD-SEM,存在对ASML专利技术的侵权行为。而且,在没有实证的情况下,ASML仅凭臆想就通知并要求其上下游供应商终止与东方晶源的业务往来。

 

 

如果让ASML得逞,那么东方晶源的检测设备供应业务必然会遭遇重创。但让国人为之振奋的是,东方晶源身正不怕影子斜,面对ASML的“碰瓷”行为,硬气的发布通告称:公司的相关技术设备全系自研,不存在任何侵权,对于流传的这些不实谣言和构陷,将会追究其法律责任。

 

 

结合上海微电子此次中标,不难看出,经过这些年的不断努力,国内光刻厂商在核心技术方面已经有了相当扎实的储备和根基。

 

 

根据此前媒体多次报道的消息显示,上海微电子研发的28nm国产光刻机或将于今年下半年落地,如果ASML还是无法出口尖端EUV光刻机,那么,它所能拿的出手的对我国市场有吸引力的光刻设备类型还有什么呢?届时,中企或许就真的要与之说再见了。